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高端化學(xué)品及集成電路用電子化學(xué)品制造關(guān)鍵技術(shù)通過鑒定
  發(fā)布日期:2025-04-22

4月15日,北京化工大學(xué)等多家單位完成的“高端化學(xué)品及集成電路用電子化學(xué)品制造關(guān)鍵技術(shù)研究與應(yīng)用”項目,在北京通過了中國石油和化學(xué)工業(yè)聯(lián)合會(簡稱“中國石化聯(lián)”)組織的科技成果鑒定。據(jù)悉,北京化工大學(xué)教授李群生帶領(lǐng)團隊針對國家戰(zhàn)略需求,研發(fā)了高端化學(xué)品及集成電路用電子化學(xué)品制造關(guān)鍵技術(shù),并成功實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用,成為科技創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新深度融合的典型案例。

此次鑒定會上,由舒興田、屠海令(線上)、錢旭紅(線上)、鄭裕國(線上)、馮志海等5位中國工程院院士,以及中石油云南石化有限公司教授級高工張有林、中國中化控股有限公司教授級高工晉工、中國石化集團公司科技部首席科學(xué)家莊毅、清華大學(xué)教授呂陽成、北京化工研究院首席專家李東風(fēng)、中國石油大學(xué)(北京)教授陳光進等共11位專家組成的鑒定委員會一致認為,該成果核心技術(shù)處于國際領(lǐng)先水平,同意通過鑒定,建議進一步推廣應(yīng)用。北京化工大學(xué)副校長任鐘旗、中國石化聯(lián)科技與裝備部主任李永亮出席本次鑒定會并講話,鑒定會由中國石化聯(lián)科技與裝備部副處長曾春陽主持。

據(jù)介紹,該項目在多個領(lǐng)域取得了一系列重大創(chuàng)新成果。根據(jù)鑒定意見,該項目建立了精餾塔內(nèi)氣液兩相流的數(shù)學(xué)模型,研發(fā)了IP型高效填料和導(dǎo)向復(fù)合塔板,填料分離效率提高了37.5%~50%,塔板分離效率達到75%~85%;發(fā)明了反應(yīng)除雜技術(shù),利用紫外線光源將四氯化硅中極少量的三氯氫硅反應(yīng)為四氯化硅,產(chǎn)品純度達到99.9999999%(9N級);開發(fā)了等離子反應(yīng)合成技術(shù),實現(xiàn)乙硅烷的定向合成,得到99.99999%(7N級)乙硅烷。

同時,該項目發(fā)明了精餾—連續(xù)多級逆流分布結(jié)晶技術(shù),應(yīng)用于對二氯苯-鄰二氯苯等分離,產(chǎn)品純度≥99.999%;開發(fā)了優(yōu)化結(jié)構(gòu)的雙載體吸附系統(tǒng),與精餾及其他分離技術(shù)耦合,實現(xiàn)對雜質(zhì)的深度脫除,生產(chǎn)出99.999999%(8N級)四氯硅烷;開發(fā)了高效抗雜質(zhì)滲入技術(shù),實現(xiàn)了電子化學(xué)品生產(chǎn)設(shè)備的超潔凈防護。其中,電子級氫氟酸單個金屬離子雜質(zhì)含量降至5ppt以下,突破G5標準要求。

李群生團隊目前已取得獲授權(quán)的多項國內(nèi)外發(fā)明專利,具有自主知識產(chǎn)權(quán)。

該項目不僅在科技創(chuàng)新方面屢獲突破,在產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用領(lǐng)域也收獲累累碩果。項目成果已在多家企業(yè)獲得廣泛應(yīng)用,并生產(chǎn)出百余種產(chǎn)品,取得了顯著的經(jīng)濟效益、社會效益和環(huán)境效益。

據(jù)統(tǒng)計,近3年該項目技術(shù)應(yīng)用累計節(jié)約蒸汽116萬噸、電耗47763萬千瓦時,節(jié)能折合標煤20.8萬噸,相當于減排二氧化碳51.8萬噸。“這是因為項目技術(shù)可以顯著降低化工分離過程的能源消耗與環(huán)境負荷。”李群生說,內(nèi)蒙古雙欣高端醋酸乙烯生產(chǎn)應(yīng)用該項目技術(shù)后,影響環(huán)境污染的醋酸甲酯等物質(zhì)含量從0.04%~0.06%降低至150ppm以下,優(yōu)于國際技術(shù)指標,同時回收大量醋酸甲酯,減輕了大氣污染。

李群生表示,項目團隊將進一步深化智能化與綠色化創(chuàng)新,實現(xiàn)精餾過程動態(tài)優(yōu)化與能量梯級利用;探索精餾耦合、生物基化學(xué)品分離等前沿領(lǐng)域,助力實現(xiàn)碳中和目標;深化稀土同位素、超高純材料制備技術(shù),支撐航空航天、半導(dǎo)體等戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)發(fā)展。未來5年,項目技術(shù)應(yīng)用將新增產(chǎn)值超400億元,帶動就業(yè)崗位1萬個,助力我國高端化學(xué)品自給率提升。同時,項目還將通過技術(shù)標準國際化與高質(zhì)量共建“一帶一路”合作,推動中國方案在全球化工行業(yè)應(yīng)用。

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