9月14日，據(jù)采招網(wǎng)信息，徐州博康信息化學(xué)品有限公司年產(chǎn)1406噸光刻材料及152噸光刻膠技改項(xiàng)目備案。
徐州博康信息化學(xué)品有限公司成立于2010年，主營中高端光刻膠及相關(guān)原材料產(chǎn)研銷。公司目前在江蘇邳州、浙江東陽有兩個生產(chǎn)基地，其中邳州基地于2021年上半年完成建設(shè)已正式投產(chǎn)，具備1100噸光刻材料及10000噸電子級溶劑產(chǎn)能。
產(chǎn)品方面，徐州博康已成功開發(fā)ArF/KrF單體及光刻膠、I線光刻膠、封裝光刻膠、電子束光刻膠等系列產(chǎn)品。
ArF產(chǎn)品方面，公司具備干法ArF及濕法ArF光刻膠的技術(shù)能力。干法ArF可應(yīng)用于90nm/65nm/55nm節(jié)點(diǎn)。濕法ArF可應(yīng)用于40nm/28nm節(jié)點(diǎn)，14nm及以下工藝正在研發(fā)中。公司目前形成銷售的 Arf 光刻膠有 7 款，其中 1 款 ArF 產(chǎn)品在 12 寸 fab 廠批量供應(yīng)，是同類型國產(chǎn)光刻膠企業(yè)中ArF光刻膠商業(yè)化進(jìn)程最快的企業(yè)。
KrF產(chǎn)品方面，在研和配方定型光刻膠有 34 款產(chǎn)品，其中，高分辨的 KrF 光刻膠，最小分辨率可達(dá) 120nmCD，產(chǎn)品可應(yīng)用于 14nm-180nm 制程中。公司目前有20余款KrF光刻膠正在客戶端進(jìn)行產(chǎn)品驗(yàn)證導(dǎo)入量產(chǎn)，形成銷售的有16款，其中2款在國內(nèi)大廠批量供應(yīng)。
作為國內(nèi)少有能打通光刻膠上游材料的全產(chǎn)業(yè)鏈公司，徐州博康的聚合與提純工藝也是其核心競爭力之一。目前：（1）光刻膠單體已經(jīng)研發(fā)近 80 余款，2022 年以來新開發(fā) 30 余款單體。（2）光刻膠樹脂已經(jīng)研發(fā) 50 多款。（3）光敏劑已經(jīng)研發(fā)超過 150 款。
此前在2023年12月，徐州博康與華懋科技簽訂了股權(quán)轉(zhuǎn)讓協(xié)議，收購了其持有的東陽華芯51%的股權(quán)。徐州博康通過控股東陽華芯，使得徐州博康產(chǎn)品線更加完善。2022年7月，東陽華芯建設(shè)“年產(chǎn)8000噸光刻材料新建項(xiàng)目”事項(xiàng)，項(xiàng)目規(guī)劃年產(chǎn)8000噸光刻材料，主要包括ArF光刻膠系列（包含單體和樹脂合成）、KrF光刻膠系列（包含單體和樹脂合成）等。
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