11月12日，從中石化南京化工研究院有限公司（簡稱南化研究院）獲悉，由掛靠在南化研究院的全國化學標準化技術委員會硫和硫酸分技術委員會近日在浙江寧波召開標準審查會，全體參會委員和代表參加會議并通過了對《電子級硫酸及試驗方法》等標準送審稿的審查，該標準即將上報國家標準化管理委員會。
據介紹，電子級硫酸是芯片制造工藝中用量最大的電子化學品，主要用于去除晶圓片上殘留的金屬和有機物雜質，質量要求高，產品中金屬離子要求達到ppt級。目前，我國高端電子級硫酸產品完全依賴德國BASF等外企進口，嚴重制約我國芯片產業發展，是主要“卡脖子”產品之一。
近兩年，我國電子級硫酸制備技術取得突破，產品質量顯著提高，龍頭企業電子級硫酸產品中金屬離子濃度均小于10ppt，超越了國際SEMI-C12（金屬離子<100ppt）級別，與國際電子化學品供應量最大、品質最好的巴斯夫電子級硫酸品質處同一級（金屬離子<10ppt），達到國內領先、世界一流水平。
目前，國內還沒有電子級硫酸的國家標準或行業標準，制定適合我國國情的《電子級硫酸》國家標準，為電子級硫酸國產化提供技術支持，同時對解決“卡脖子”問題具有積極意義。根據國標委發[2020]37號《關于下達2020年第二批推薦性國家標準計劃的通知》的安排，由湖北興福電子材料有限公司、南化研究院等負責國家標準《電子級硫酸及試驗方法》的制定工作。項目計劃號為：20202886-T-606，完成年限為2022年8月，由全國化學標準化技術委員會（SAC/TC63）歸口，硫和硫酸分技術委員會（SAC/TC63/SC7）負責實施。
據硫和硫酸分會負責人、南化研究院總經理劉明介紹，標準工作組自去年8月成立以來，主要參照SEMI C44-0708《Specifications and Guidelines for Sulfuric Acid》（硫酸規范與指南）和HG/T 4559—2013《超凈高純硫酸》，同時依據國內生產企業的實際生產狀況和用戶對產品的質量要求以及國內現階段成熟的檢測手段進行起草。并著重就標準草案中規格的設置、指標的大小及檢驗方法進行了討論，對規格和指標確定了“高端與國際看齊、低端適當放寬”的原則，同時結合我國實際情況將規格按雜質含量的區別分為E1-E5五個級別。
據介紹，制定的標準共設置了硫酸含量、外觀與色度、不同粒徑顆粒的個數、氯化物、硝酸鹽、磷酸鹽、銨鹽、還原高錳酸鉀物質及金屬雜質等共35個項目的技術指標，檢測方法根據目前企業的實際情況，大部分采用了相應的、具有較高精度的儀器分析。對于檢測方法，鑒于前期陰離子采用儀器分析法所遇到的實際困難，因而其分析方法采用比色法，金屬元素采用ICP-MS方法。
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